操作参数
1、基板前外理
用化学方式或物理方式去基板上的污染,并粗化其表面,处理后涂覆前的板面应呈中性,以保证良好的结合力和涂覆的均一性。
2、开油
使用前请搅拌3-5min,必要时亦可加入专用开油水调整粘度,比例控制在10%以下,若需要使用开油水必须检查板面涂膜层厚度的均匀性,是否有露铜等问题。
3、印刷
3.1网目:油墨印刷网目采用77-100T,白网印刷;
3.2刮刀:采用75度
4、预烤
4.1印刷后静置10-20min;
4.2预烤温度75±5℃;
4.3时间:第一面:8-15min,第二面:15-20min;两面同烘:20-30min;
备注:以上参数为产式烤箱,若为遂道式烤箱需根据机器性能调节温度和时间。
5、曝光
5.1选用功率5KW或7KW水冷工曝光机为佳;
5.2曝光量120-150mj/C?,21级光楔尺控制在7-9级残膜;
5.3曝光机抽真空度要求95%以上;
5.4台面温度控制在18℃左右。
6、显影
6.1显影液浓度:碳酸钠 1.0± 0.1%;显影液温度:28-32℃;
6.2喷淋压力:2.0kg/ C? 以上;
6.3显影时间:40-60s;
7、后烘
8.1有后烘之板;在5%的NAOH;温度为50-55℃的溶液中浸泡2-3min;
8.2无后烘之板:在5%的NAOH;温度为50-55℃的溶液中浸泡1-2min;